마이크로/나노기계시스템 연구부에서는 마이크로 및 나노 스케일 기계시스템의 설계, 제작 및 실용화에 관한 연구를 수행하고 있으며, 부서 산하 6개 연구실에서 NT를 기반으로 BT, IT 및 ET를 융합한 미세 기계시스템의 개발과 응용에 관한 연구를 활발히 수행하고 있다.

마이크로 유체역학 연구실에서는 micro/nanofluidics와 미소생체모방 공학의 기반이 되는 마이크로 스케일의 유체유동 현상 연구를 수행하고 있다. 수상 부양 로봇, 나노페인팅 기술 등을 개발하고 있으며, 유체 유동에 의하여 깃발과 같이 얇은 판이 흔들리는 현상과 관련된 voice production의 물리학에 관한 연구를 수행하고 있다.

나노융합기술 연구실에서는 NT를 기반으로 BT 및 IT가 융합된 나노 구조를 경제적으로 구현할 수 있는 기술을 연구한다. 바이오칩, 자연모사, 인공혈관, 세포거동 등과 같은 NT-BT Fusion 기술과 LCD용 대면적 패터닝, 차세대 반도체 리소그래피 및 소자 등의 NT-IT Fusion 기술을 연구하고 있다.

미세성형 연구실에서는 수 μm 어레이 홀 가공 기술, 금속 박판의 다양한 패턴 성형 기술 및 마이크로 스케일의 실리콘, 폴리머 및 니켈 소재의 금형 가공 기술에 관한 수 μm급 마이크로 성형 기술 개발을 하고 있으며 마이크로/나노미터 스케일 해석프로그램 개발 연구를 수행하고 있다.

마이크로/나노 시스템 연구실에서는 마이크로미터와 나노미터 사이의 영역에서 발생하는 기계/물리 현상에 대한 연구로써 표면장력을 이용한 마이크로 유체의 제어, 마이크로 구조를 이용한 세포 배양 및 성장 해석, 나노 소자 자동조립, 나노튜브를 이용한 질병진단 센서 및 박막을 이용한 분자 결합 및 감식 센서 등에 관한 연구를 수행하고 있다.

재생 에너지 변환 연구실에서는 초박막 고체 산화물 연료전지 설계 및 제작, 고분자 연료전지에서의 Water Management, PEMFC 미세 유로와 박막 촉매 구조의 제작 및 미세 유로 내에서의 two-phase flow 현상 유동가시화와 촉매상의 전하이동 이해, Miniature Fuel Cell 연구 및 Hybrid System 차량 연구를 수행하고 있다.

나노기술/열공정 연구실에서는 실용성 있는 나노물질 제조를 위한 기계 공정기술, 실현 가능한 나노소자 제작을 위한 패터닝기술, 나노공정 해석 및 측정 기술을 개발하고 있으며 나노공정, 물질 및 소자에서 발견되는 특이 현상 분석 연구를 수행하고 있다.

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